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J-GLOBAL ID：201402275972005119   整理番号：14A1097344

ダイヤモンドのプラズマCVD成長における固体挿入ドーピング

著者 (4件)： 田村貴大 (北大) ,  柳瀬隆 (北大 FCC) ,  長浜太郎 (北大 工) ,  島田敏宏 (北大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th  ページ： ROMBUNNO.17A-A8-6  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *プラズマCVD ,  *薄膜成長 ,  ドーパント ,  ホウ素 ,  焼結体 ,  半導体薄膜 ,  *ドーピング ,  *共ドーピング ,  *鉱石 ,  *宝石 ,  物
準シソーラス用語： *同時ドーピング

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  プラズマCVD ,  成長 ,  固体 ,  ドーピング