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J-GLOBAL ID：201402276178140792   整理番号：14A1272723

薄膜SnO₂ガスセンサの超低消費電力化

REALIZATION OF ULTRALOW POWER CONSUMPTION OF SnO₂ THIN FILM GAS SENSOR

著者 (6件)： 野中篤 (大阪ガス) ,  中島崇 (大阪ガス) ,  大西久男 (大阪ガス) ,  岡村誠 (富士電機) ,  村田尚義 (富士電機) ,  鈴木卓弥 (富士電機)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 30  号： Supplement B  ページ： 13-15  発行年： 2014年09月27日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現実的コストで,電池駆動都市ガス警報器を実現するためには,最小限の電池で駆動可能な省電力性能が望まれており,リチウム電池1本で5年間十分駆動可能な消費電力水準である0.1mW以下で駆動可能なメタンセンサの開発が目標とされてきた。新規メタンセンサの開発に当たり,先ず,メタン検知機能をSnO₂薄膜,メタン選択性制御機能を触媒層,加熱機能を薄膜ヒータ,の各部位に分けて担わせ,材料・構造を最適化した。薄膜ヒータを内蔵した円形ダイヤフラム支持層上に「ナノ柱状構造」SnO₂薄膜,触媒層を積層した薄膜マイクロメタンセンサを開発した。センサの各機能要素を分離し,それぞれの機能を担う材料・構造を最適化,微小化し,低パワー極短パルス駆動化することにより,5年間電池駆動可能な超低消費電力化(約0.06mW)を達成した上で,従来センサよりも高感度,高選択性を実現することができた。

シソーラス用語： 薄膜 ,  *酸化スズ ,  *ガスセンサ ,  *消費電力 ,  電池 ,  駆動 ,  都市ガス ,  警報装置 ,  省エネルギー ,  リチウム電池 ,  選択性 ,  アルカン
準シソーラス用語： 警報器 ,  省電力

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  化学プロセスの測定,監視,計装  (XC02030Y) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (4件)：

• H. Ohnishi, S. Kudo, T. Matsumoto, M. Ippommatsu, Proc. the 15^th Chem. Sensor Sym., 8, Sup. B (1992).
• 大西久男 他,特許第4,010,738号、(2000).
• N. Murata, M. Okamura, T. Suzuki, A. Nonaka, T. Nakajima, H. Ohnishi, K. Asakura, Proc. the 57^th Chem. Sensor Sym., 30, Sup. B (2014).
• T. Suzuki, K. Kunihara, M. Kobayashi, S. Tabata, K. Higaki, H. Ohnishi, Sensors and Actuators B, 109, 185 (2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  ガスセンサ ,  低消費電力化