文献

J-GLOBAL ID：201402277939772603   整理番号：14A0212038

絶縁基板上でのナノスケール白金プリンティング

Nanoscale platinum printing on insulating substrates

著者 (6件)： O’CONNELL C D (Univ. Wollongong, NSW, AUS) ,  HIGGINS M J (Univ. Wollongong, NSW, AUS) ,  SULLIVAN R P (Univ. Wollongong, NSW, AUS) ,  JAMALI S S (Univ. Wollongong, NSW, AUS) ,  MOULTON S E (Univ. Wollongong, NSW, AUS) ,  WALLACE G G (Univ. Wollongong, NSW, AUS)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 24  号： 50  ページ： 505301,1-11  発行年： 2013年12月20日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ディップペンナノリソグラフィー(DPN)を用いた,絶縁基板上にPtの任意のナノスケールパターンを堆積する方法を開発した。液体インク処方は,インクキャリア及び還元剤として作用する,エチレングリコール中の前駆体H₂PtCl₆からなっていた。金属への前駆体の還元は,新しい窒素プラズマ処理による緩やかな非破壊的条件下で促進された。DPN堆積は,~60nmの最小特徴サイズをもつカンチレバー上のインクの体積に依存した。マイクロスケールプリントPtの高い電気化学活性をSECMにより確認した。

シソーラス用語： *フレキシブル基板 ,  *リソグラフィー ,  *回路パターン形成 ,  原子間力顕微鏡 ,  *白金電極 ,  クロロ白金酸 ,  還元剤 ,  *プラズマ処理 ,  片持梁 ,  *印刷 ,  ナノ構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  脂肪族アルコール ,  ジオール
準シソーラス用語： ディップペンナノリソグラフィー ,  SECM

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： エチレングリコール

タイトルに関連する用語 (4件)： 絶縁基板 ,  ナノスケール ,  白金 ,  プリンティング