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J-GLOBAL ID：201402278261526484   整理番号：13A1954933

表面分析の基礎(4)

著者 (1件)： 吉原一紘 (オミクロンナノテクノロジージャパン)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 56  号： 4  ページ： 153-157  発行年： 2013年04月10日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表面分析として広く用いられているX線光電子分光法について解説した。X線源として制動放射によるX線と特性X線の原理を説明した。X線管球と単色化の紹介,X線光電子分光法の原理を説明した。X線照射により生じた光電子スペクトルとして,内殻準位に基づくスペクトル,ケミカルシフトに基づくスペクトル,バンド構造の価電子準位に基づくスペクトル,オージェピーク,多重項分裂(最外殻の不対電子と内殻電子の不対電子との結合による),非単色化によるサテライトピーク,内殻電子の放出に伴う外殻電子の励起によるスペクトル,非弾性散乱によるロスバンド(光電子が固体を通過する際の非弾性散乱による)を説明した。

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,  *原理 ,  光電子スペクトル ,  化学シフト ,  内殻準位 ,  バンド構造 ,  Auger効果 ,  非弾性散乱
準シソーラス用語： ケミカルシフト

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

引用文献 (3件)：

• 15) C. C. Kao, S. C. Tsai, M. K. Bahl, Y. W. Chung and W. J. Lo: Surf. Sci., 95 (1980) 1.
• 16) 吉原一紘:入門表面分析(内田老鶴圃,東京,2003) p. 87.
• 17) 吉原一紘,吉武道子:表面分析入門(裳華房,東京,2007) p. 41.

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面分析 ,  基礎