文献

J-GLOBAL ID：201402278464445196   整理番号：13A1947881

1Pa~133Paの圧力範囲に対する低い真空発生システムの開発

Development of low vacuum generation system for the pressure range of 1Pa-133Pa

著者 (2件)： HONG S.S. (Korea Res. Inst. Standards and Sci.) ,  KHAN Wakil (Pakistan Vacuum Soc.)
資料名： 表面科学学術講演会講演要旨集  (表面科学学術講演会要旨集)
巻： 33rd  ページ： 106  発行年： 2013年11月26日 
JST資料番号： L1366A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *真空装置 ,  *圧力 ,  ゲージ ,  気体
準シソーラス用語： 真空機器 ,  窒素ガス

分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  油圧・空気圧・真空機器一般  (QD04010M)

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空 ,  発生システム ,  開発