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J-GLOBAL ID：201402278800000661   整理番号：14A0237898

Y₂O₃薄膜におけるイオン照射誘起相転移機構

Ion irradiation-induced phase transformation mechanisms in Y₂O₃ thin films

著者 (4件)： GABORIAUD R.J. (Univ. Poitiers, Chasseneuil-Futuroscope, FRA) ,  PAUMIER F. (Univ. Poitiers, Chasseneuil-Futuroscope, FRA) ,  JUBLOT M. (CEA Saclay, Gif-sur-Yvette, FRA) ,  LACROIX B. (UCBN, Caen, FRA)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 311  ページ： 86-92  発行年： 2013年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *酸化イットリウム ,  薄膜 ,  イオン照射 ,  イオンビームスパッタリング ,  キセノン ,  *重イオンビーム ,  *構造相転移 ,  単斜晶系 ,  立方晶系 ,  非晶質
準シソーラス用語： 酸化物薄膜

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固相転移  (BL04020G) ,  イオンとの相互作用  (BK16070Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： Y2O3 ,  薄膜 ,  イオン照射 ,  誘起 ,  相転移