CHOI Kyung-Rok について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
WOO Jong-Chang について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
JOO Young-Hee について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
KIM Chang-Il について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
Ferroelectrics について
酸化チタン について
誘電体薄膜 について
誘導結合プラズマ について
混合気体 について
ドライエッチング について
加工速度 について
選択性 について
出力 について
電圧 について
圧力効果 について
残留物 について
表面粗さ について
モルフォロジー について
エッチング速度 について
バイアス電圧 について
残滓 について
酸化物薄膜 について
固体デバイス製造技術一般 について
誘導結合プラズマ について
TiO2 について
薄膜 について
ドライエッチング について