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文献
J-GLOBAL ID:201402279272811950   整理番号:13A1958695

軟X線レーザパルス照射により誘起された金属の表面改質

Surface Modifications of Metals Induced by Soft X-Ray Laser Pulse Irradiations
著者 (12件):
資料名:
巻:号:ページ: 147-151 (WEB ONLY)  発行年: 2012年05月 
JST資料番号: U0377A  ISSN: 1880-0688  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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13.9nmの波長及び7psの時間幅を持つ軟X線レーザ(SXRL)パルスをアルミニウム(Al),銅(Cu),金(Au)表面に照射した。Alの場合には約14mJ/cm2,CuとAuの場合には約21mJ/cm2のレーザフラックスでSXRLビームを照射後,可視顕微鏡,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡を使って改質表面を観測した。SXRL照射に起因する表面改質が明確に観察され,100nm近辺の直径を持つ円錐構造が単一パルスショット下のAl表面に形成されたことが分かった。円錐構造は平均深度約40nmの特徴をもって形成され,この値はAlに対するSXRLビームの減衰長と一致した。SXRLパルス照射により誘起されたAl表面の改変構造は,Cu及びAu表面の場合とは異なっていた。SXRLパルス露光により誘起されたAl表面に形成された改質構造は,新しい構造として興味深い。そこで,SXRLビームはAl表面にナノメートルサイズの三次元構造を製作することを可能にする微細加工ツールの候補であろう。(翻訳著者抄録)
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  レーザ照射・損傷  ,  特殊加工 
引用文献 (28件):
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タイトルに関連する用語 (4件):
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