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J-GLOBAL ID：201402280291594373   整理番号：14A0224394

CMOS-MEMS集積化走査型マイクロ波顕微鏡

CMOS-MEMS Integrated Scanning Microwave Microscopes

著者 (3件)： AZIZI Mostafa (Univ. Waterloo, Ontario, CAN) ,  SARKAR Neil (Univ. Waterloo, Ontario, CAN) ,  MANSOUR Raafat (Univ. Waterloo, Ontario, CAN)
資料名： IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest  (IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest)
巻： 2013 Vol.2  ページ： 1497-1499  発行年： 2013年 
JST資料番号： A0636A  ISSN： 0149-645X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型マイクロ波顕微鏡(SMM)は無線周波数で局所的誘電体や導電体測定を行う走査型プローブ顕微鏡(SPM)の唯一のタイプであり,材料と半導体デバイスを高速,非接触,非破壊で測定できる重要な手段である。ここでは従来のスキャナを完全に置き換え,3次元走査を可能とするCMOS-MEMSを装備したSMMを初めて報告した。マイクロ波信号経路は位置検出センサを集積した電熱アクチュエータによって走査され,シールドされた柔軟な伝送線路となる。さらに像形成の間に一定のチップ-サンプル間隔を維持できるAFMプローブを集積化した。測定感度を増すためにシングルスタブ整合ネットワークを測定システムの50Ωインピーダンスと高いチップーサンプルインピーダンスを整合するために用いた。このデバイスを使った初めての線走査を報告した。

シソーラス用語： *顕微鏡 ,  *マイクロ波 ,  走査 ,  *CMOS構造 ,  *MEMS ,  検出 ,  アクチュエータ ,  電気加熱 ,  伝送線路 ,  導波管棒
準シソーラス用語： スタブ ,  位置検出 ,  走査型 ,  電熱

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： CMOS ,  MEMS ,  集積化 ,  走査型マイクロ波顕微鏡