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J-GLOBAL ID：201402280313536151   整理番号：14A0177588

整然と配列したナノシェルアレイで構成した圧電ナノ発電器に関する設計方策

Design Strategy for a Piezoelectric Nanogenerator with a Well-Ordered Nanoshell Array

著者 (7件)： SEOL Myeong-Lok (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  IM Hwon (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  MOON Dong-Il (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  WOO Jong-Ho (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  KIM Daewon (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  CHOI Sung-Jin (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  CHOI Yang-Kyu (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 7  号： 12  ページ： 10773-10779  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電ナノ発電器(PNG)が無線システムに適した電源として有望視される時代となった。応力閉じ込め実効効果によるPNG用コアナノ構造としてのナノシェル構造の構想は,実装における残された課題によって実験にまでは至っていないのが現状である。本報告では,制御可能なナノシェル構造の作製に向けて,最新のスペーサリソグラフィーを含むトップ-ダウンSiナノ加工技術を導入した。ナノシェルの直径とシェル-ツー-シェル間隔に関して,圧電性能を向上させるための包括的設計方策を提示した。シミュレーションと測定データのいずれもが,極端に高密度な構造が常に性能を最大化する最善策とは限らない。最大出力は,シェル直径とシェル-シェル相互間離隔距離がそれぞれの適切な範囲にあれば達成されるとわかった。

シソーラス用語： マイクロマシニング ,  パターン形成 ,  シェル ,  ナノ構造 ,  アレイ回路 ,  *圧電素子 ,  圧電気 ,  *発電 ,  *実装設計 ,  チタン酸バリウム ,  リソグラフィー ,  *エネルギー供給
準シソーラス用語： エネルギーハーベスティング ,  ナノシェル ,  ミクロパターン形成 ,  *圧電発電

分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電 ,  発電器 ,  設計方策