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J-GLOBAL ID：201402284736136449   整理番号：14A1206506

DLCコーティングの60年:種々のタイプのDLCを合成する陰極アーク法における歴史的ハイライトと技術解説および産業応用のための進化

60years of DLC coatings: Historical highlights and technical review of cathodic arc processes to synthesize various DLC types, and their evolution for industrial applications

著者 (1件)： VETTER J.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 257  ページ： 213-240  発行年： 2014年10月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陰極真空アーク蒸着法(CVAE)によって成膜されたダイヤモンド状炭素(DLC)膜は,1990年代の初めから,研究グループや産業界から世界的規模で関心を集めてきた。グロー放電技術による水素化非晶質炭素コーティング(a-C:H)成膜について初めて記述されてから20年後に,水素を含まない非晶質炭素コーティング(a-C)の成膜が初めてCVAEによって行われた。本論文では,陰極アーク蒸着による硬質a-Cコーティングについて,直接方式(DCVAE)およびろ過方式(FCVAE),並びにパルスアーク方式を含めて,開発と幅広い可能性に注目して述べる。DLC膜は,物理的(光学的,電気的),化学的(環境との相互作用),機械的(硬度,弾性率),生物医学的およびトライボロジー的特性の広い範囲に亘り格別に優れた挙動を示す。一体構造で四面体結合を有し水素を含まないコーティング(ta-C)が最も高い硬度を示すが,一方,それより軟質の種々のa-Cコーティングも,用途によっては有用である。H,N,Si,B,F,Pおよび金属などの元素と合金化させることによって,電気伝導度や表面エネルギーのような多くの膜特性を変化させることができる。ここでは,炭素系陰極を用いたCVAEによるDLCコーティング生成を目的とした最近の研究と工業化のための課題解決について述べ,金属陰極と気相源を用いたハイブリッド法について検討する。添加元素を含むコーティングおよび複雑な構成のコーティングについても検討し,各種方式のコーティングの特筆すべき特性について述べる。ta-Cおよびa-Cコーティングの工業的応用事例は増加し続けており,それは主として摩耗と摩擦を低減するためのトライボロジー的コーティングである。CVAEにより成膜されたコーティングの様々な応用について,特にデータハードディスク,エンジン部品,かみそりの刃,バルブシール,装飾コーティング,切断・成形工具,生物医学製品その他について述べた。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *イオンめっき ,  *技術史 ,  利用 ,  炭素材 ,  水素化 ,  光学的性質 ,  電気特性 ,  耐性 ,  微小硬さ ,  弾性係数 ,  医用素材 ,  トライボロジー ,  水素 ,  窒素 ,  ケイ素 ,  ホウ素 ,  フッ素 ,  リン ,  合金化 ,  金属元素 ,  電気伝導率 ,  表面エネルギー ,  炭素電極 ,  電極 ,  カソード ,  摩擦 ,  摩耗 ,  耐摩耗性 ,  *蒸着膜 ,  金属電極 ,  *真空アーク蒸着 ,  アモルファスカーボン ,  改変 ,  機械的性質 ,  性質
準シソーラス用語： *陰極アーク蒸着 ,  生体材料 ,  耐環境性 ,  非晶質炭素

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (9件)： DLCコーティング ,  タイプ ,  DLC ,  陰極 ,  アーク ,  歴史 ,  ハイライト ,  産業応用 ,  進化