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J-GLOBAL ID：201402285030871908   整理番号：14A0527532

除去液を噴霧した排気ガス中IPA(Isopropyl alcohol)除去処理技術の開発

Development of removal technology for IPA (Isopropyl Alcohol) in exhaust gas by spraying removal solution

著者 (4件)： 田中茂 (慶応大 理工) ,  永田智裕 (慶応大 理工) ,  秋山喬之 (慶応大 理工) ,  司馬里佳 (慶応大 理工)
資料名： 空気清浄  (コンタミネーションコントロール)
巻： 51  号： 6  ページ： 4-8  発行年： 2014年03月31日 
JST資料番号： G0779A  ISSN： 0023-5032  CODEN： KUSEBF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体工業では乾燥工程でイソプロピルアルコール(IPA)が利用され,IPA蒸気の姿で排出される。ここではIPA排ガスからIPAを回収する手法について検討を行った。IPA吸収用にトリプロピレングリコールメチルエーテル(TPGME)を除去液とし,PUF充填層によるIPA排ガス気液接触装置を考案した。本法による排ガス中のIPA除去効率について性能試験の結果をとりまとめた。結果,ガス吸収温度18.7°Cの条件で除去効率がほぼ62.5%の成績をあげることができた。

シソーラス用語： 半導体工業 ,  乾燥 ,  *排ガス処理 ,  吸収剤 ,  エーテル ,  気液接触 ,  充填塔 ,  比率 ,  脂肪族アルコール ,  グリコールエーテル ,  *廃棄物処理
準シソーラス用語： グリコールエーテル類 ,  トリプロピレングリコールメチルエーテル ,  除去率

分類 (3件)： 排ガス処理技術一般  (SC04010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  吸収  (XD02090P)

物質索引 (1件)： イソプロピルアルコール

引用文献 (9件)：

• WHO : Indoor air quality, Organic Pollutants, Euro Reports and Studies 111, 1987
• VOC排出抑制検討会:環境と測定技術、31、2、33-54、2004
• 環境省:揮発性有機化合物排出インベントリ作成に関する調査業務報告書、2011年度 http://www.env.go.jp/air/osen/voc/inventory/rep_h2403/02em.pdf
• 小川洋輝ら:はじめての半導体洗浄技術、82-83、2002
• (株)イノアックコーポレーション:SPONGE21.com:http://www.sponge21.com

タイトルに関連する用語 (5件)： 噴霧 ,  排気ガス ,  IPA ,  除去処理 ,  開発