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J-GLOBAL ID：201402287635004052   整理番号：14A1314594

酸素プラズマパターニングを利用したシンプルなPDMSバルブの開発

著者 (6件)： 森口裕之 (理研 生命システム研究セ) ,  川井隆之 (理研 生命システム研究セ) ,  神田元紀 (理研 生命システム研究セ) ,  山田陸裕 (理研 生命システム研究セ) ,  上田泰己 (理研 生命システム研究セ) ,  田中陽 (理研 生命システム研究セ)
資料名： 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集
巻： 30th  ページ： 89  発行年： 2014年10月02日 
JST資料番号： L4117A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *パターン形成 ,  ポリジメチルシロキサン ,  弁 ,  流体 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  リソグラフィー ,  ガラス基板 ,  *酸素プラズマ
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  ソフトリソグラフィー ,  バルブ ,  マイクロ流体

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸素プラズマ ,  パターニング ,  PDMS ,  バルブ ,  開発