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J-GLOBAL ID：201402288111010388   整理番号：14A1282138

Burgersベクトルに依存する4H-SiCの溶液成長中の貫通刃状転位転換の異なる挙動

Different behavior of threading edge dislocation conversion during the solution growth of 4H-SiC depending on the Burgers vector

著者 (6件)： HARADA Shunta (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  YAMAMOTO Yuji (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  SEKI Kazuaki (Dep. of Crystalline Materials Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  HORIO Atsushi (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  TAGAWA Miho (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  UJIHARA Toru (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 81  ページ： 284-290  発行年： 2014年12月 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シンクロトロンX線トモグラフィによってSiCの溶液成長中の貫通刃状転位(TED)転換を調べた。溶液成長中の成長面上にマクロステップの進展がある横方向成長によって基底面転位へTEDsを転換した。ステップ流方向に平行なBurgersベクトルのあるTEDsを高い確率で基底面転位へ転換した。一方では,Burgersベクトルがステップ流方向に平行でないTEDsの転換率は遥かに低かった。Burgersベクトルに依存する基底面転位の転換後の弾性エネルギにおける変化は,TED転換の異なる挙動をもたらした。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： Burgersベクトル ,  *炭化ケイ素 ,  溶液成長 ,  *刃状転位 ,  X線CT ,  ステップ流 ,  エネルギー ,  結晶成長 ,  六方晶系 ,  *貫通転位 ,  半導体素子 ,  パワーエレクトロニクス ,  弾性エネルギー ,  検査 ,  X線検査 ,  放射線検査 ,  X線診断 ,  非破壊検査
準シソーラス用語： *4H-SiC ,  パワーデバイス

分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： Burgersベクトル ,  4H-SiC ,  溶液成長 ,  刃状転位 ,  転換 ,  挙動