抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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グリッドに基づく測定法を利用することで,フレキシブルなエレクトロニクスの作製での計測や検査が促進される。しかし,変形グリッドパターンの大面積全視野変形測定では,雑音,遮蔽,アーチファクトなどの困難な問題が起こる。本論文では,変形測定における主な問題について検討した。それは,歪んだグリッドパターンのレジストレーションと整合であった。グリッドパターンのフィデリティを実現するために,精密でロバストな周期追跡レジストレーションやコンステレーション整合アルゴリズムを検討した。レジストレーションアルゴリズムでは,歪グリッドでの偏差計量を利用し,グローバル移動,回転,スケーリングを推定した。整合アルゴリズムでは,コンステレーション基準グリッドを利用し,歪点のパターンを検出した。多様な歪スケールや変換において,合成データを利用し,多雑音の歪グリッドパターンを登録することで,レジストレーションアルゴリズムの有効性を検証した。多様な歪スケールでも歪グリッド点パターンが整合された。これにより整合アルゴリズムが有効であることが分かった。ノンリジッドレジストレーションと点パターン整合アルゴリズムを比較して,本アルゴリズムは,高歪多雑音グリッドにも整合し,速度が向上し,サブピクセルの精度とロバスト性があることを示した。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.