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J-GLOBAL ID：201402289825968956   整理番号：14A1138184

すれすれ角で堆積させたウエハスケールの三次元ヘリカル多孔質薄膜

Wafer-scale, three-dimensional helical porous thin films deposited at a glancing angle

著者 (3件)： HUANG Zhifeng (Hong Kong Baptist Univ. (HKBU), Hong Kong SAR, CHN) ,  HUANG Zhifeng (HKBU Inst. Res. and Continuing Education, Guangdong Province, CHN) ,  BAI Fan (Hong Kong Baptist Univ. (HKBU), Hong Kong SAR, CHN)
資料名： Nanoscale  (Nanoscale)
巻： 6  号： 16  ページ： 9401-9409  発行年： 2014年08月21日 
JST資料番号： W2323A  ISSN： 2040-3364  CODEN： NANOHL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 螺旋状コイルは,種々の特性の故に注目を集めている。本論文では,すれすれ角で堆積させたウエハスケールの三次元ヘリカル多孔質薄膜について概説した。螺旋の小型化は,光学素子,機械素子,および電子素子のサイズ縮小による新機能の導出をもたらす。すれすれ角蒸着(GLAD)は,分離したミクロ/ナノ柱からなる三次元的なヘリカル多孔質薄膜(HPTF)の調製を可能にした。この方法は,一段階堆積,左または右手系だけの螺旋を有するウエハスケールの製造,柔軟な加工,種々の基板への適応など,多くの長所を有することを記した。GLAD法によるHPTFの製造,成長機構,物理特性,グリーンエネルギーでの応用,などを簡単に論じた。

シソーラス用語： *薄膜 ,  エナンチオマ ,  *蒸着 ,  すれすれ入射 ,  金属 ,  フェノール類 ,  窒素複素環化合物 ,  芳香族縮合化合物 ,  フラーレンC60 ,  酸化物 ,  螺旋 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  基板 ,  機構 ,  自然エネルギー ,  三次元
準シソーラス用語： グリーンエネルギー ,  すれすれ角入射 ,  ヒドロキシキノリン類 ,  成長機構 ,  *多孔質膜

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (1件)： 亜鉛フタロシアニン

タイトルに関連する用語 (5件)： 堆積 ,  ウエハ ,  スケール ,  多孔質 ,  薄膜