抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ヘリウムガスが噴き出すガラス管先端に高電圧電極を取り付け,大気圧低温プラズマジェットを生成した。アーク放電に移行させずにグロー放電を維持するため,高電圧MOSFETをスイッチとする繰返し動作高電圧マルクスパルス発生器により放電させた。放電電圧は3.6kV,パルス幅は1μs,繰返し周波数は4kHzである。プラズマ発光の空間分布と時間変化を発光分光(OES)で観測し,プラズマ特性を観測した。印加電圧3kVにおけるプラズマ長は7mmで,電圧とともにプラズマ長と発光強度は増大する。プラズマ印加電圧の拡大とパルス幅の制御は,今後のマルクス電源改良の課題である。