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J-GLOBAL ID:201402293199679162   整理番号:14A1315873

高アスペクト比のレーザ加工用のBesselビームのサイドローブ抑圧

Side lobe suppression of a Bessel beam for high aspect ratio laser processing
著者 (1件):
資料名:
巻: 39  ページ: 79-85  発行年: 2015年01月 
JST資料番号: A0734B  ISSN: 0141-6359  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Besselビームは,高アスペクト比のレーザ穴あけ,およびレーザー穴あけやレーザ切断時の伝搬方向に沿って材料の位置決めを正確に行う必要性を除くために使用できる。しかし,Besselビームは,サイドローブをもち,そのビームにさらされ,材料に損傷を与える可能性がある。本論文は,サイドローブの光学的抑制について述べた。本方法は,これらのサイドローブを抑制する方法を提案さし,その方法は異なる波数ベクトルを持つ2つのビーム間の干渉に基づく。この方法の有効性は重ね合わせた,Besselビームを実現することにより,理論的にも実験的に確認されている。このビームは,He-Neレーザ(λ=633nm)および凸レンズの前方に配置された環状のバイナリアパーチャを使用し,44μmの1/e2半径を持つ。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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