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J-GLOBAL ID：201402293714537376   整理番号：14A0045500

高速集積化オプトエレクトロニクスのためのCMOS互換シリコンフォトニックプラットフォーム

A CMOS-compatible silicon photonic platform for high-speed integrated opto-electronics

著者 (18件)： GALLAND Christophe (Univ. Delaware, DE, USA) ,  NOVACK Ari (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  NOVACK Ari (Univ. Singapore, Singapore) ,  LIU Yang (Univ. Delaware, DE, USA) ,  DING Ran (Univ. Delaware, DE, USA) ,  GOULD Michael (Univ. Washington, WA, USA) ,  BAEHR-JONES Tom (Univ. Delaware, DE, USA) ,  LI Qi (Columbia Univ., New York, USA) ,  YANG Yisu (Univ. Delaware, DE, USA) ,  MA Yangjin (Univ. Delaware, DE, USA) ,  ZHANG Yi (Univ. Delaware, DE, USA) ,  PADMARAJU Kishore (Columbia Univ., New York, USA) ,  BERGMEN Keren (Columbia Univ., New York, USA) ,  LIM Andy Eu-Jin (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  LO Guo-Qiang (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  HOCHBERG Michael (Univ. Delaware, DE, USA) ,  HOCHBERG Michael (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  HOCHBERG Michael (Univ. Singapore, Singapore)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8767  ページ： 87670G.1-87670G.8  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 計算能力の指数関数的スケーリングの継続によって,超並列アークテクチャの開発が必要となる。光相互接続は,これを可能にする技術として一般に認識されている。p-i-n及び光伝導(MIM)Ge-on-Si検出器,p-i-nリング及びMach-Zehnder変調器,そして,RF伝送ラインによって駆動されるp-n接合に基づく進行波変調器等の能動部品を特徴とするCMOS互換シリコンオンインシュレータフォトニックプラットフォームを開発した。自動化クロスウェハテストを通じて,歩留りと性能の均一性を特性化し,このプロセスが高信頼性で拡張性があることを実証した。全体のプラットフォームは,40GB/sデータ転送速度が可能である。シンガポールのIME/A-STARファウンドリで製造されたものが,OpSISを通して世界中の共同体で入手可能である。これは,Delaware大学に基づく多プロジェクトウエハサービスの成功の結果である。最先端のプラットフォーム構成品の設計,製造,および性能を明らかにした後,最初の公開実行後に得られた最新の結果を示す。これらは低損失パッシブ(Y接合:0.28dB;導波路交差:0.18dB,そして,クロストーク:-41±2dB;不均一格子カプラー:3.2±0.2dB)が含まれる。これらの全ての部品を完全な8”ウエハー全体でテストし,顕著な均一性を示した。能動デバイスは,以前の設計キットから改善され,30GHz(変調器)から58GHz(検出器)の範囲の3dB帯域幅を示した。OpSISユーザーが利用できる新しいパッケージサービスを提供する。それは垂直ファイバ結合およびエッジ結合である。

シソーラス用語： *光集積回路 ,  *CMOS構造 ,  ケイ素 ,  *オプトエレクトロニクス ,  光変調素子 ,  光検出器 ,  リング共振器 ,  進行波
準シソーラス用語： Mach-Zehnder光変調器 ,  Siフォトニクス ,  光エレクトロニクス ,  光変調器

分類 (1件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積化 ,  オプトエレクトロニクス ,  CMOS