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J-GLOBAL ID：201402293730813545   整理番号：14A0651159

超音波までのダイナミックレンジを持つ多軸力センサ

MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TO ULTRASONIC

著者 (6件)： QUANG-KHANG Pham (Univ. Tokyo, TOKYO, JPN) ,  MINH-DUNG Nguyen (Univ. Tokyo, TOKYO, JPN) ,  BINH-KHIEM Nguyen (Univ. Tokyo, TOKYO, JPN) ,  PHAN Hoang-Phuong (Griffith Univ., AUS) ,  MATSUMOTO Kyoshi (Univ. Tokyo, TOKYO, JPN) ,  SHIMOYAMA Isao (Univ. Tokyo, TOKYO, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 27th Vol.2  ページ： 769-772  発行年： 2014年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,1.2MHzを超える動的周波数範囲を持つ多軸力センサの開発について報告した。リアルタイムの構造ヘルスモニタリングに用いるセンサは,構造表面にかかる相互作用的な垂直と横方向の力の測定だけでなく,構造材料の内部の亀裂伝搬から発せられたわずかな音波を検出することも必要である。力だけでなくピエゾ抵抗カンチレバーを用いて音響振動にも対応できるよう,エラストマ/ポリマー薄膜/粘性液の多層構造を用いた。このセンサの表面にかかった力は,エラストマを介して伝わり封入した液体を変形させる。次に,液体の形状変化が検出用カンチレバーを変形させるものである。実験結果からこのセンサが,40kPaの範囲で高い線形性をもって垂直と横方向の力を測定できること,さらに,超音波周波数をカバーするダイナミックレンジを持つことを証明した。

シソーラス用語： *ダイナミックレンジ ,  *センサ ,  監視 ,  亀裂伝搬 ,  電気抵抗 ,  片持梁
準シソーラス用語： カンチレバー ,  ピエゾ抵抗 ,  構造ヘルスモニタリング ,  *力センサ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  音響測定  (BB03040R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 音波 ,  ダイナミックレンジ ,  多軸 ,  力センサ