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J-GLOBAL ID：201402293969184167   整理番号：14A0227309

単結晶基板上にエピタクシーで成長したCoPtおよびCo₃Pt合金薄膜での準安定規則相形成

Metastable Ordered Phase Formation in CoPt and Co₃Pt Alloy Thin Films Epitaxially Grown on Single-Crystal Substrates

著者 (4件)： OHTAKE Mitsuru (Fac. of Sci. and Engineering, Chuo Univ.) ,  SUZUKI Daisuke (Fac. of Sci. and Engineering, Chuo Univ.) ,  KIRINO Fumiyoshi (Graduate School of Fine Arts, Tokyo Univ. of the Arts) ,  FUTAMOTO Masaaki (Fac. of Sci. and Engineering, Chuo Univ.)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E96-C  号： 12  ページ： 1460-1468 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CoPtおよびCo₃Pt合金薄膜を,超高真空無線周波数マグネトロンスパッタリング装置を用いて室温から600°Cまでの範囲で基板温度を変えることにより,MgO(111),SrTiO₃(111),およびAl₂O₃(0001)単結晶基板上に製作した。準安定規則相の形成および構造的熱安定性を,簡単に調べた。基板表面に平行な閉充填面を持つCoPtおよびCo₃Pt膜は,エピタクシーでこれら酸化物単結晶基板上に成長した。CoPtエピタクシー膜を,MgO(111)基板上にヘテロエピタクシーで成長したPt,Pd,Cu,Cr,Ti,およびRu下地層を採用することによりまた形成した。結晶構造を,閉充填面の整列度および原子積層シーケンスを考慮することにより評価した。L1₁,B_h,およびD0₁₉の準安定規則相を,選択的にCoPtに形成し,そしてCo₃Pt膜を300°C付近で蒸着した。準安定規則相形成は,基板温度,膜組成,および下地層材料により影響された。基板温度を300°C付近まで増加することで,整列度は増加した。基板温度が更に増加した時,整列度は減少した。300°Cで不規則膜をアニーリングすることは,効果的に整列化を強化しなかった。準安定規則相を含むCoPtとCo₃Pt膜は,平坦な表面を持ち,そして整列結晶の結晶磁気異方性を反映する強い垂直磁気異方性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 規則相 ,  *単結晶 ,  *エピタクシー ,  コバルト ,  白金 ,  金属薄膜 ,  準安定相 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタリング装置 ,  基板温度 ,  酸化マグネシウム ,  チタン酸ストロンチウム ,  熱安定性 ,  焼なまし ,  磁気異方性 ,  垂直磁気異方性
準シソーラス用語： エピタクシー膜 ,  下地層 ,  合金薄膜 ,  無線周波数

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (23件)：

• [1] T.B. Massalski and H. Okamoto, ed., Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd ed., pp.1752-1756, ASM International, Ohio, 1990.
• [2] Y.S. Shur, L.M. Magat, G.V. Ivanova, A.I. Mitsek, A.S. Yermolenko, and O.A. Ivanov, “Nature of the coercive force of an ordered cobalt-platinum alloy,” Fiz. Met. Metalloved., vol.26, no.2, pp.241-249, Aug. 1968.
• [3] S. Iwata, T. Kato, and S. Tsunashima, “Perpendicular magnetic anistropy and magneto-optical Kerr spectra of MBE-grown PtCo alloy films,” IEEE Trans. Magn., vol.33, no.5, pp.3670-3672, Sept. 1997.
• [4] J.C.A. Huang, A.C. Hsu, Y.H. Lee, T.H. Wu, and C.H. Lee, “Influence of crystal structure on the perpendicular magnetic anisotropy of an epitaxial CoPt alloy,” J. Appl. Phys., vol.85, no.8, pp.5977-5976, April 1999.
• [5] H. Sato, T. Shimatsu, Y. Okazaki, H. Muraoka, H. Aoi, S. Okamoto, and O. Kitakami, “Fabrication of L1₁ type Co-Pt ordered alloy films by sputter deposition,” J. Appl. Phys., vol.103, no.7, pp.07E114-1-07E114-3, April 2008.

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶基板 ,  エピタクシー ,  成長 ,  合金薄膜 ,  規則相