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J-GLOBAL ID：201402296104340723   整理番号：14A1493735

表面化学分析に関するISO技術委員会201による信頼性のある表面分析のための規格開発

Development of standards for reliable surface analyses by ISO technical committee 201 on surface chemical analysis

著者 (4件)： POWELL C. J. (Materials Measurement Sci. Div., National Inst. of Standards and Technol., 100 Bureau Drive, Gaithersburg, MD ...) ,  SHIMIZU R. ,  YOSHIHARA K. ,  ICHIMURA S.
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 47  号： 1  ページ： 127-134  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分析試験室のための品質管理要件とともに信頼性のある表面分析の必要性により,国際標準化機構(ISO)は1991年の表面化学分析に関する技術委員会(TC)201を組織した。本稿では,TC201の組織,新しい国際規格の可能なプロジェクトを同定し評価するのに有用であると判明した戦略,及びTC201が現在までに作製した57の国際規格と他の文書を記述した。Auger電子分光法,グロー放電分光法,様々なタイプの走査型プローブ顕微鏡,二次イオン質量分析法,スパッタ深さプロファイリング,全反射X線蛍光分光法,X線光電子分光法,及びX線反射率測定に関する規格が今では開発されている。また,規格は,表面化学分析で使用される用語,すなわち,取扱い,表面分析のための試料調製,情報とデータ転送フォーマット,及び表面分析のためのビームベース方法の横方向分解能を決定するための方法の定義と共に開発された。Copyright 2014 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *国際標準化機構 ,  *界面化学 ,  *表面分析 ,  *ISO規格 ,  Auger分光法 ,  グロー放電 ,  顕微鏡観察 ,  二次イオン質量分析 ,  深さプロフィル ,  スパッタリング ,  反射率 ,  試料調製 ,  走査型プローブ顕微鏡法 ,  X線反射率

分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  物理分析一般  (CC03011F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学分析 ,  ISO ,  表面分析 ,  規格 ,  開発