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J-GLOBAL ID：201402298356874707   整理番号：14A0715382

CVDシリコンカーバイドの形状適応研削

Shape adaptive grinding of CVD silicon carbide

著者 (5件)： BEAUCAMP Anthony (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi, JPN) ,  NAMBA Yoshiharu (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi, JPN) ,  COMBRINCK Herman (Cranfield Precision, Woburn House, Kempston, Bedford, GBR) ,  CHARLTON Phillip (Zeeko Ltd., Vulcan Court, Coalville, Leicestershire, GBR) ,  FREEMAN Richard (Zeeko Ltd., Vulcan Court, Coalville, Leicestershire, GBR)
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 63  号： 1  ページ： 317-320  発行年： 2014年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の研削では除去速度と表面粗さの間の直接的関係から,化学蒸着(CVD)硬質被覆の超精密仕上げは,通例,固定/遊離の砥粒の数工程を必要とする。この論文は,革新的形状適合研削(SAG)工具を紹介する。これは0.4nmRa以下の表面粗さと100mm³/分までの高除去速度を持つCVDシリコンカーバイドの仕上げを可能にする。SAG工具は弾性的に自由曲面に適応し,一方小規模域の剛性は研削の発生を可能にする。材料除去は時間依存性なので,この工程は送りの減速により反復的に形状誤差を改善できる。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *炭化ケイ素 ,  砥粒 ,  研削 ,  *超精密加工 ,  表面粗さ ,  誤差
準シソーラス用語： 形状誤差

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (4件)： CVD ,  シリコンカーバイド ,  適応 ,  研削