抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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異なる酸化条件がSiCの初期段階酸化挙動に及ぼす効果を調べるために,空気および水蒸気富裕両方の環境でのSiCの酸化を1200°Cで実施した。酸化環境に依存して不動態あるいは活性化の二つの異なるSiC酸化挙動が見出された。全てのサンプルは酸化環境に関わらず非晶質酸化物層を持った。三つのSi酸化状態(SiO,Si
2O
3,およびSiO
2)をこの層中に観察した。非晶質Si
2O
3状態が主で,三つの異なる状態の比率は試験条件によって変化した。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.