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J-GLOBAL ID：201402299235976959   整理番号：14A0062230

触媒を用いた熱CVD法によるMoS_xナノワイヤの作製

著者 (5件)： 橋本遊 (北大 大学院) ,  沓澤大 (北大 工) ,  柳瀬隆 (北大 大学院) ,  長浜太郎 (北大 大学院) ,  島田敏宏 (北大 大学院)
資料名： 応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道地区講演予稿集)
巻： 49th-10th  ページ： 12  発行年： 2013年12月09日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  製膜 ,  *化学蒸着 ,  *硫化モリブデン ,  透過型電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  *触媒反応

分類 (2件)： 触媒反応一般  (CB06080F) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 触媒 ,  熱CVD ,  ナノワイヤ ,  作製