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J-GLOBAL ID：201402299407932720   整理番号：14A0426922

3波長干渉法による透明膜の表面形状と膜厚分布の同時測定

著者 (1件)： 北川克一 (東レエンジニアリング)
資料名： ViEWビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集(CD-ROM)  (ViEW講演論文集(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.OS2-O3  発行年： 2013年 
JST資料番号： L4705C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 白色干渉法に代表される光干渉方式の表面形状測定法は,測定対象が透明膜に覆われていると,裏面反射光が外乱となり,正確な測定ができない。また,分光法に代表される光学的膜厚測定法は,基本的に点計測で速度が遅く,水平分解能も低い。我々は,3波長干渉法による表面形状と膜厚分布の同時測定アルゴリズムを開発した。3波長照明系とカラーカメラにより得られる3波長インターフェログラムを波形分離し,各画素の表面高さ,裏面高さ,膜厚を推定する。計算機実験と実サンプル測定により,提案手法の妥当性を確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *光干渉法 ,  *形状測定 ,  分布 ,  同時計測 ,  アルゴリズム ,  照明条件 ,  *波長 ,  膜 ,  Fourier変換 ,  エリプソメータ
準シソーラス用語： インターフェログラム ,  *多波長 ,  透明膜 ,  同時測定 ,  白色干渉法 ,  表面形状測定 ,  膜厚分布

分類 (2件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 波長 ,  干渉法 ,  透明膜 ,  表面形状 ,  膜厚分布 ,  同時測定