特許

J-GLOBAL ID：201403000084505272

X線検査方法及びX線検査装置

発明者： 梅原 康敏
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-153610
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016239
出願日： 2012年07月09日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：

【課題】非破壊で検査対象の欠陥検査を高速に行うことが可能なX線検査方法及びX線検査装置を提供すること。【解決手段】検査対象のX線画像を取得するX線画像取得ステップと、前記検査対象の形状が異なる複数のシミュレーションX線画像から、前記検査対象の形状が最も近いシミュレーションX線画像を取得するシミュレーションX線画像取得ステップと、前記X線画像と前記X線画像取得ステップにより取得された前記シミュレーションX線画像との差分に基づき、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを有するX線検査方法。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

検査対象のX線画像を取得するX線画像取得ステップと、 前記検査対象の形状が異なる複数のシミュレーションX線画像から、前記検査対象の形状が最も近いシミュレーションX線画像を取得するシミュレーションX線画像取得ステップと、 前記X線画像と前記X線画像取得ステップにより取得された前記シミュレーションX線画像との差分に基づき、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを有する ことを特徴とするX線検査方法。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (6件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11