特許

J-GLOBAL ID：201403000579578195

接合方法、接合体及び振動アクチュエータ

発明者： 刈谷 智志 ,  桑野 邦宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-217764
公開番号（公開出願番号）：特開2014-069217
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：

【課題】低い面精度で金属結合が可能な接合方法を提供する。【解決手段】本発明の接合方法は、第1部材10,110A,110Bの表面を金属メッキする工程と、金属メッキされた前記第1部材10,110A,110Bと第2部材20,120A,120Bとを金属結合により接合する工程と、を備える接合方法であって、前記第2部材20,120A,120Bの接合面の平面度が、前記金属メッキされた第1部材10,110A,110Bの接合面のPV値以下である接合方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1部材の表面を金属メッキする工程と、 金属メッキされた前記第1部材と第2部材とを金属結合により接合する工程と、を備える接合方法であって、 前記第2部材の接合面の平面度が、前記金属メッキされた第1部材の接合面のPV値以下である接合方法。

IPC (5件)：

B23K 20/00 ,  H02N 2/00 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

B23K20/00 310L ,  H02N2/00 C ,  B23K20/00 310M ,  B23K20/00 310N ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  B23K20/00 310P

Fターム (17件)：

4E167AA01 ,  4E167AA08 ,  4E167AA09 ,  4E167AA21 ,  4E167AB01 ,  4E167AB04 ,  4E167AD09 ,  4E167BA02 ,  4E167CA01 ,  4E167CA10 ,  4E167CB01 ,  4E167DA04 ,  5H680BB02 ,  5H680BC01 ,  5H680DD02 ,  5H680DD23 ,  5H680DD65