特許

J-GLOBAL ID：201403000715235990

赤外光源素子

発明者： 若林 大介 ,  境 浩司 ,  飯井 良介 ,  山田 清高
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (5件)： 伊藤 正和 ,  林 康旨 ,  細川 覚 ,  松本 隆芳 ,  森 太士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-018174
公開番号（公開出願番号）：特開2014-149976
出願日： 2013年02月01日
公開日（公表日）： 2014年08月21日
要約：

【課題】赤外線の出力効率を向上する赤外光源素子を提供する。【解決手段】上面の一部を開口する空隙部10を有する基板1と、それぞれ一端側が基板1に支持される複数の梁部22a〜22dと、空隙部10の開口部の上方において、梁部22a〜22dのそれぞれ他端側に支持される薄膜部23と、薄膜部23の上面に形成され、通電されることにより発熱するヒータ部31と、ヒータ部31の表面を覆うように形成された保護膜4と、下面の一部を開口する空隙部50と、ヒータ部31の発熱による赤外線を上方に集光するレンズ部51とを有し、空隙部10及び空隙部50によって、梁部22a〜22d、薄膜部23、ヒータ部31及び保護膜4を封止するキャップ部とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上面の一部を開口する第1空隙部を有する基板と、 それぞれ一端側が前記基板に支持される複数の梁部と、 前記第1空隙部の開口部の上方において、前記梁部のそれぞれ他端側に支持される薄膜部と、 前記薄膜部の上面に形成され、通電されることにより発熱するヒータ部と、

IPC (1件)：

H05B 3/10

FI (1件)：

H05B3/10 B

Fターム (4件)：

3K092PP20 ,  3K092QB59 ,  3K092SS32 ,  3K092VV40