特許

J-GLOBAL ID：201403000737323566

圧電特性の測定装置

発明者： 河村 秀樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-070987
公開番号（公開出願番号）：特開2014-194377
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月09日
要約：

【課題】圧電体試料を自立させることなく圧電特性を測定することができる、圧電特性の測定装置を提供する。【解決手段】圧電特性の測定装置1は、電動スタンド2、第1および第2の試料保持部3A,3B、および弾性変形部5、を備える。電動スタンド2は、固定部21と可動部22とを有しており、固定部21と可動部22との間隔を調整自在である。第1の試料保持部3Aは、可動部22に接続されており、圧電体試料10の上端部に装脱自在である。第2の試料保持部3Bは、固定部21に接続されており、圧電体試料10の下端部に装脱自在である。弾性変形部5は、可動部22と第1の試料保持部3Aとの間に接続されている。測定装置1は、圧電体試料10に印加される引張荷重に対する、圧電体試料10に生じる電荷の関係を測定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の支点と第2の支点とを有しており、前記第1の支点と前記第2の支点との間隔を調整自在である間隔調整部、 前記第1の支点に接続されており、圧電体試料の第1の端部に装脱自在である第1の試料保持部、 前記第2の支点に接続されており、前記圧電体試料の第2の端部に装脱自在である第2の試料保持部、 前記第1の支点と前記第1の試料保持部との間および前記第2の支点と前記第2の試料保持部との間の少なくとも一方に接続されている弾性変形部、および、 前記第1および前記第2の試料保持部に装着される圧電体試料に電気的に接続され、前記圧電体試料に印加される引張荷重に対する、前記圧電体試料に生じる電荷の関係を測定する測定部、 を備える圧電特性の測定装置。

IPC (3件)：

G01R 29/22 ,  H01L 41/45 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01R29/22 Z ,  H01L41/45 ,  H01L41/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭50-040720
  
• 特開昭58-210539
  
• 圧電特性の測定装置および測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-025551   出願人：株式会社村田製作所