特許

J-GLOBAL ID：201403000859022370

レジスト塗布方法、圧電振動片の製造方法および圧電振動片

発明者： 山田 直樹
出願人/特許権者： エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 久原 健太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-041013
公開番号（公開出願番号）：特開2014-170810
出願日： 2013年03月01日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
要約：

【課題】ウエハの表面と裏面との両面にレジスト材を塗布する場合において、レジスト材の回り込み付着による凹凸部分の形成を抑制することによって、露光による電極パターンのパターニング精度の低下を抑制できるレジスト塗布方法を提供することを目的とする。また、かかるレジスト塗布方法を用いた圧電振動片の製造方法、およびその製造方法によって製造される圧電振動片を提供することを目的とする。【解決手段】ウエハの第1の面と、前記ウエハの第1の面と反対側の第2の面とにそれぞれレジスト材を塗布するとともに、前記ウエハの第1の面と、前記ウエハの第2の面とのうち少なくとも一方の面には複数回レジスト材を塗布するレジスト塗布工程を有し、前記レジスト塗布工程において、最後に前記レジスト材を塗布する前記ウエハの面は、最後より1回前に前記レジスト材を塗布する面と異なる面であることを特徴とするレジスト塗布方法。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ウエハの第1の面と、前記ウエハの第1の面と反対側の第2の面とにそれぞれレジスト材を塗布するとともに、前記ウエハの第1の面と、前記ウエハの第2の面とのうち少なくとも一方の面には複数回レジスト材を塗布するレジスト塗布工程を有し、 前記レジスト塗布工程において、最後に前記レジスト材を塗布する前記ウエハの面は、最後より1回前に前記レジスト材を塗布する面と異なる面であることを特徴とするレジスト塗布方法。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  H03H 3/02 ,  B05D 7/24 ,  B05D 1/02 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/683 ,  H05K 3/34

FI (8件)：

H01L21/30 564Z ,  H03H3/02 B ,  H03H3/02 D ,  B05D7/24 301Z ,  B05D1/02 Z ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 N ,  H05K3/34 502E

Fターム (47件)：

2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  2H097LA15 ,  4D075AA01 ,  4D075BB66Z ,  4D075BB89X ,  4D075BB89Z ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC21 ,  4D075EA45 ,  5E319AC04 ,  5E319AC13 ,  5E319BB01 ,  5E319BB08 ,  5E319CD26 ,  5E319GG20 ,  5F131AA02 ,  5F131BA12 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131CA06 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA62 ,  5F131DB51 ,  5F131DB62 ,  5F131EA06 ,  5F131EB32 ,  5F146AA15 ,  5F146JA01 ,  5F146JA27 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE14 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08