特許

J-GLOBAL ID：201403001014262573

蒸気加熱ヒータ

発明者： 先田 成伸 ,  三雲 晃 ,  仲田 博彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (2件)： 辻川 典範 ,  山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234215
公開番号（公開出願番号）：特開2014-086557
出願日： 2012年10月23日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：

【課題】 ウエハへのパーティクルの付着を少なくできるうえ、ウエハ面の温度を所定の温度まで均一に昇温することが可能なウエハ加熱ヒータを提供する。【解決手段】 上方に配置されるウエハWを非接触で加熱するヒータ10であって、ヒータ10からの輻射熱と共に減圧蒸気を用いてウエハWを加熱する。この減圧蒸気は、例えばヒータ10の厚み方向に貫通する貫通孔10bを経由させてヒータ10の上面10a側に供給した水などの温媒を気化及び/又は加熱することにより得られる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

上方に配置されるウエハを非接触で加熱するヒータであって、ヒータからの輻射熱と共に減圧蒸気を用いて前記ウエハを加熱することを特徴とする蒸気加熱ヒータ。

IPC (4件)：

H01L 21/324 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

H01L21/324 J ,  H01L21/30 567 ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/31 F

Fターム (7件)：

5F045DP02 ,  5F045EK07 ,  5F045EK10 ,  5F045EM06 ,  5F146KA01 ,  5F146KA04 ,  5F146KA05