特許

J-GLOBAL ID：201403001715179166

駆動装置、回転導入機、搬送装置及び半導体製造装置

発明者： 中村 剛
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (5件)： 森 哲也 ,  小西 恵 ,  田中 秀▲てつ▼ ,  廣瀬 一 ,  宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-084030
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016025
出願日： 2013年04月12日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：

【課題】簡素な構成で、差動排気シールの排気が予期せぬ停止をしても、シール性能の著しい低下を防ぐことができる駆動装置、回転導入機、搬送装置、及び半導体製造装置を提供する。【解決手段】駆動装置2は、密閉空間Pが形成されたハウジング100に取り付けられる本体部10と、密閉空間P内に延在する軸体20を本体部10に対して支持する支持部30と、シール部40とを有する。シール部40は、差動排気シール部50と、該差動排気シール部50と支持部30との間に設けられた可変シール部60とを有する。可変シール部60は、内部と外部との差圧により膨張可能とされた中空状の可変シール61と、該可変シール部61と差動排気シール部50に接続された第1の配管51とを連通させる第2の配管62とを有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

密閉空間が形成されたハウジングに取り付けられる本体部と、 前記密閉空間に連通する前記ハウジングの開口部を介して延在する軸体と、 前記本体部に対して前記軸体を直動自在に支持し、前記軸体と前記本体部との間に微小スキマが形成された支持部と、 前記本体部と前記軸体との間をシールするシール部とを有し、 前記シール部は、差動排気シール部と、該差動排気シール部と前記支持部との間に設けられた可変シール部とを有し、 前記差動排気シール部は、前記軸体の外周面に沿った凹部として形成された差圧室と、該差圧室に連通する第1の配管と、該第1の配管を介して前記差圧室内を排気する排気部とを備え、 前記可変シール部は、前記本体部と前記軸体との間に設けられ、内部と外部との差圧により膨張可能とされた中空状の可変シールと、第1の配管に連通する第2の配管とを備え、 前記排気部によって前記差圧室の内部の圧力が低い状態のときに、前記可変シールが前記軸体の外周面に対して非接触に維持され、前記差圧室の内部の圧力が外圧にほぼ同じ状態のときに、前記可変シールが前記軸体の外周面に対して接触することを特徴とする駆動装置。

IPC (4件)：

F16J 15/48 ,  F16C 33/74 ,  F16J 15/40 ,  H01L 21/677

FI (4件)：

F16J15/48 ,  F16C33/74 Z ,  F16J15/40 Z ,  H01L21/68 A

Fターム (23件)：

3J016AA02 ,  3J016BB02 ,  3J016CA02 ,  3J016CA08 ,  3J042AA03 ,  3J042AA08 ,  3J042BA01 ,  3J043AA16 ,  3J043BA09 ,  3J043CA04 ,  3J043DA20 ,  3J043HA04 ,  5F131AA02 ,  5F131DD67 ,  5F131DD82 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131JA12 ,  5F131JA33 ,  5F131JA34 ,  5F131KA22 ,  5F131KB45