特許

J-GLOBAL ID：201403001726372308

有機半導体素子及びその製造方法、並びに薄膜の製造方法

発明者： 中島 聡
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207501
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063849
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

【課題】エレクトロスプレーデポジション法を用いて有機材料の良好な膜を成膜する。【解決手段】有機半導体層を含む有機半導体素子の製造方法。有機半導体材料を含む塗布液を、エレクトロスプレーデポジション法により塗布面上に噴霧することにより、有機半導体層を形成する。形成工程においては、噴霧された塗布液の液滴が塗布面上に到達し、塗布面における液滴の液滴径が10μm以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

有機半導体層を含む有機半導体素子の製造方法であって、 有機半導体材料を含む塗布液を、エレクトロスプレーデポジション法により塗布面上に噴霧することにより、前記有機半導体層を形成する形成工程を含み、 前記形成工程においては、前記噴霧された塗布液の液滴が前記塗布面上に到達し、該塗布面における前記液滴の液滴径が10μm以下であることを特徴とする、製造方法。

IPC (8件)：

H01L 21/368 ,  H01L 51/05 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 51/40 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/42

FI (8件)：

H01L21/368 L ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/28 310J ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  H01L31/04 D

Fターム (26件)：

3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD58 ,  3K107DD70 ,  3K107FF15 ,  3K107GG06 ,  5F053AA50 ,  5F053DD19 ,  5F053FF01 ,  5F053HH10 ,  5F053LL01 ,  5F053LL10 ,  5F110CC01 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F151AA11 ,  5F151CB30