特許

J-GLOBAL ID：201403001889164460

直動装置

発明者： 山本 和史 ,  大久保 努
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-237510
公開番号（公開出願番号）：特開2014-088886
出願日： 2012年10月29日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

【課題】転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。【解決手段】直動装置(1)において、1対のシール部材(7)の各々は、移動部材(3)に取り付けられた状態で、軌道部材(2)の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材(2)に対して0.025〜0.15mmの範囲の隙間(δ)を有する形状に形成され、転動体転走路(5)と転動体(4)との間には混和ちょう度175以上250以下のグリースが塗布してある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

軸方向に延び、転動体転走部を外周面に有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を内周面に有し、前記軌道部材に対して相対的に移動可能な移動部材と、前記転動体転走部と前記負荷転動体転走部とにより形成される転動体転走路内に転動自在に装填された複数の転動体と、前記転動体転走路の始点と終点とを連通させて無端状の転動体通路を形成する転動体循環路と、前記移動部材の軸方向両端に取り付けられた1対のシール部材とを備えた直動装置において、 前記1対のシール部材の各々は、前記移動部材に取り付けられた状態で、前記軌道部材の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、前記軌道部材に対して0.025〜0.15mmの範囲の隙間を有する形状に形成され、前記転動体転走路と前記転動体との間に混和ちょう度175以上250以下のグリースを塗布したことを特徴とする直動装置。

IPC (5件)：

F16H 25/24 ,  F16C 29/06 ,  F16C 33/76 ,  F16C 33/66 ,  F16H 25/22

FI (5件)：

F16H25/24 M ,  F16C29/06 ,  F16C33/76 A ,  F16C33/66 Z ,  F16H25/22 C

Fターム (29件)：

3J016AA08 ,  3J016BB12 ,  3J016BB23 ,  3J016CA02 ,  3J062AA21 ,  3J062AA51 ,  3J062AB22 ,  3J062AC07 ,  3J062BA23 ,  3J062CD23 ,  3J062CD68 ,  3J062CD75 ,  3J104AA03 ,  3J104AA23 ,  3J104AA66 ,  3J104AA69 ,  3J104AA75 ,  3J104BA62 ,  3J104CA01 ,  3J104CA13 ,  3J104DA04 ,  3J104EA10 ,  3J701AA02 ,  3J701AA64 ,  3J701BA73 ,  3J701EA63 ,  3J701EA70 ,  3J701GA55 ,  3J701XE34