特許

J-GLOBAL ID：201403002022696422

窒化処理方法及び窒化処理装置

発明者： 原 民夫 ,  大嶋 伸明
出願人/特許権者： 学校法人トヨタ学園 ,  株式会社プラズマ総合研究所
代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012061888
公開番号（公開出願番号）：WO2012-153767
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2012年11月15日
要約：

窒素原子を含むプラズマを用いて窒化処理をすることを特徴とする窒化処理法が提案されている。

請求項（抜粋）：

窒素原子を含むプラズマを用いて、処理対象物の窒化処理をすることを特徴とする窒化処理方法。

IPC (2件)：

C23C 8/38 ,  C21D 1/06

FI (2件)：

C23C8/38 ,  C21D1/06 A

Fターム (4件)：

4K028BA02 ,  4K028BA12 ,  4K028BA21 ,  4K028BA22