特許
J-GLOBAL ID：201403002499319337
検査装置、検査方法、検査プログラムおよび記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-259052
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106109
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：
【課題】 被検査体の欠陥の有無を検査する欠陥検査の処理時間が長くなりすぎるのを抑制し、欠陥の有無を精確に検査することができる検査装置、検査方法、検査プログラムおよび記録媒体を提供する。【解決手段】 検査装置(100)は、撮像部(1)によって取得された検査用画像と、基準画像記憶部(221)に予め記憶された基準画像とを比較することで、被検査体の欠陥の有無を検査する。判定部(216)は、1つの検査用画像注目画素に対して基準画像注目画素および周辺画素群の各画素を比較対象の画素の候補として、検査用画像注目画素が正常画素であるか否かを判定する。算出動作制御部(217)は、判定部(216)によって検査用画像注目画素が正常画素であると判定された時点で、1つの検査用画像注目画素に対する差分値算出部(215)の差分値算出動作を終了させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査体の欠陥の有無を検査するための検査装置であって、
被検査体の欠陥の有無を検査する基準となる、被検査体の欠陥が無い状態を表す基準画像を予め記憶する基準画像記憶部と、
被検査体を撮像し、検査用画像を取得する撮像部と、
前記検査用画像を構成する画素から、予め定める第1の順序に従って1つの検査用画像注目画素を選択する検査用画像注目画素選択部と、
前記基準画像を構成する画素から、前記検査用画像注目画素に対応する基準画像注目画素を選択する基準画像注目画素選択部と、
前記基準画像を構成する画素のうち、前記基準画像注目画素の周囲の所定範囲内に位置する画素からなる周辺画素群を抽出する周辺画素群抽出部と、
前記検査用画像注目画素の輝度値に対する、前記基準画像注目画素および前記周辺画素群の各画素の輝度値の差分値を、予め定める第2の順序に従って算出する差分値算出部と、
前記差分値算出部によって前記第2の順序に従って前記差分値が算出されるごとに、前記差分値の絶対値が、予め定める閾値以下であるか否かを判定する判定部と、
前記差分値算出部の差分値算出動作を制御する算出動作制御部であって、前記判定部によって前記差分値の絶対値が前記閾値以下であると判定されたときには、前記検査用画像注目画素に対する、前記第2の順序に従った前記差分値算出部の差分値算出動作を終了させる算出動作制御部と、を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 B
, G06T1/00 305A
2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051DA05
, 2G051EA08
, 2G051ED04
, 2G051ED11
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB05
, 5B057DB09
, 5B057DC32
