特許

J-GLOBAL ID：201403002603737634

結晶体、基板およびその作製方法

発明者： 荻本 泰史
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (2件)： 河野 広明 ,  岡本 正之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012055343
公開番号（公開出願番号）：WO2012-124507
出願日： 2012年03月02日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：

結晶軸方向に沿った凹凸構造を有する結晶体を提供する。本発明のある態様においては、酸化物結晶を露出させ酸化物結晶の結晶軸を含む方向に延びている表面10Lを備えてなり、表面10Lが、結晶軸に沿って延びる少なくとも3種の向きの面11L〜14Lによって構成される凹凸構造を有している結晶体1が提供される。

請求項（抜粋）：

酸化物結晶を露出させ該酸化物結晶の結晶軸を含む方向に延びている表面を備えてなり、 該表面が、該結晶軸に沿って延びる少なくとも3種の向きの面によって構成される凹凸構造を有している 結晶体。

IPC (2件)：

C30B 29/32 ,  C30B 33/02

FI (2件)：

C30B29/32 C ,  C30B33/02

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077AB10 ,  4G077BC42 ,  4G077FE11 ,  4G077HA12