特許

J-GLOBAL ID：201403003770335153

磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

発明者： 中江 葉月
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012057870
公開番号（公開出願番号）：WO2012-133373
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：

ハードディスクに取り込んだ際に安定したヘッド浮上量が得られる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する工程を含むものであって、該主表面を研磨する工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程は、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する工程を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、 前記主表面を研磨する工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、 前記粗研磨工程と前記精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、 前記洗浄工程は、100nm/min以下の速度で前記ガラス基板前駆体の主表面を除去する工程である、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 5/84 ,  C03C 19/00

FI (2件)：

G11B5/84 A ,  C03C19/00 Z

Fターム (8件)：

4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA08 ,  5D112GA09