エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-169399
公開番号（公開出願番号）：特開2014-029276
出願日： 2012年07月31日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：

【課題】回折格子を用いて相対移動量を計測する際に、参照光の光量損失を抑制する。【解決手段】エンコーダ10は、第1部材6に設けられたX方向を周期方向とする回折格子12と、計測光MX及び参照光RXを射出するレーザ光源16と、第2部材7に設けられ、計測光MXを回折格子12に概ね垂直に入射させて、参照光RXを計測光MXと異なる方向に射出するPBS部材24Xと、第2部材7に設けられ、反射面32Xa,32Xbを介して参照光RXを回折格子12における互いに異なる2つの回折角と概ね同じ角度だけ偏向させて参照光RX1,RX2としてPBS部材24Xに向けて反射する参照部材32Xと、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1部材と該第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動可能に支持された第2部材との相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、前記第1部材に設けられ、少なくとも前記第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、計測光及び参照光を射出する光源部と、前記第2部材に設けられ、前記計測光を前記回折格子の格子パターン面に概ね垂直に入射させて、前記参照光を前記計測光と異なる方向に射出する第1光学部材と、前記第2部材に設けられ、前記第1光学部材から入射する前記参照光又はこの参照光から分岐された光束を反射する少なくとも一つの反射面を持ち、前記参照光を前記回折格子における互いに異なる2つの回折角と概ね同じ角度だけ偏向させて第1及び第2参照光として前記第1光学部材に向けて反射する第1参照部材と、前記第2部材に設けられて、前記計測光によって前記回折格子から前記第1方向に関して発生する互いに異なる次数の第1及び第2回折光が前記第1光学部材を介して入射するとともに、前記第1及び第2回折光と、前記第1光学部材を介して入射する前記第1及び第2参照光との第1及び第2干渉光を生成する第1及び第2反射部と、前記第1及び第2干渉光をそれぞれ検出する第1及び第2光電検出器と、前記第1及び第2光電検出器の検出信号を用いて前記第1部材と前記第2部材との相対移動量を求める計測部と、を備えることを特徴とするエンコーダ装置。

IPC (5件)：

G01D 5/38 , H01L 21/68 , G01B 11/00 , H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (5件)：

G01D5/38 A , H01L21/68 F , G01B11/00 G , H01L21/30 516B , G03F7/20 501

Fターム (62件)：

2F065AA04 , 2F065AA09 , 2F065CC00 , 2F065FF16 , 2F065FF18 , 2F065FF48 , 2F065GG04 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL33 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL47 , 2F065LL50 , 2F065LL51 , 2F103BA08 , 2F103BA10 , 2F103BA27 , 2F103BA29 , 2F103BA37 , 2F103CA01 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA12 , 2F103EA15 , 2F103EA19 , 2F103EA20 , 2F103EB02 , 2F103EB03 , 2F103EB12 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EC08 , 2F103EC11 , 2F103EC12 , 2F103EC13 , 2F103EC14 , 2H097LA10 , 2H097LA11 , 5F131AA02 , 5F131BA13 , 5F131CA69 , 5F131EA02 , 5F131EA22 , 5F131KA03 , 5F131KA16 , 5F131KA17 , 5F131KA70 , 5F131KB12 , 5F146CB09 , 5F146CB12 , 5F146CB15 , 5F146CB47 , 5F146CC16 , 5F146DA06 , 5F146DA07 , 5F146DA13 , 5F146DB05

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