特許
J-GLOBAL ID：201403003863443665
検査装置及び検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小山 靖
, 特許業務法人OMNI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-185063
公開番号（公開出願番号）：特開2014-044059
出願日： 2012年08月24日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：
【課題】光沢のある検査対象物に対し光源の映り込みの発生を防止して、異物や欠陥等の有無の検査を向上させることが可能な検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】本発明の検査装置は、表面に光沢がある検査対象物を検査する検査装置であって、前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに配置されており、かつ、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する第1照明手段と、前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物を撮像する撮像手段とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に光沢がある検査対象物を検査する検査装置であって、
前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに配置されており、かつ、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する第1照明手段と、
前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物を撮像する撮像手段とを有する検査装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N21/90 Z
, G01N21/90 D
2G051AA11
, 2G051AA28
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB15
, 2G051BA02
, 2G051BB02
, 2G051BB07
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CD01
, 2G051CD02
