特許

J-GLOBAL ID：201403004238211086

レシピ作成装置、レシピ作成方法および基板処理装置

発明者： 篠原 章人 ,  池内 崇
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (3件)： 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-213433
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067936
出願日： 2012年09月27日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：

【課題】適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができるレシピ作成技術、ならびに当該レシピ作成技術を利用した基板処理装置を提供する。【解決手段】レシピに規定される連続するステップで構成される第1レシピブロックと、第1レシピブロック以降で連続するステップで構成される第2レシピブロックとを編集するレシピ編集部211と、第1レシピブロックを実行することで基板Wに対して行われる第1処理と、第1処理に続いて第2レシピブロックを実行することで基板Wに対して行われる第2処理との間に整合が取れていることを確認する整合チェック部212と、整合チェック部212による確認が得られないとき、第1処理と第2処理とが不整合であることを報知する報知部の一例である表示部261とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成装置であって、 前記レシピに規定される連続するステップで構成される第1レシピブロックと、前記第1レシピブロック以降で連続するステップで構成される第2レシピブロックとを編集するレシピ編集部と、 前記第1レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第1処理と、前記第1処理に続いて前記第2レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第2処理との間に整合が取れていることを確認する整合チェック部と、 前記整合チェック部による確認が得られないとき、前記第1処理と前記第2処理とが不整合であることを報知する報知部と を備えるレシピ作成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/304 648H

Fターム (3件)：

5F157CE02 ,  5F157CE81 ,  5F157CF50