特許

J-GLOBAL ID：201403004407145454

切削装置

発明者： 中西 優爾
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-035625
公開番号（公開出願番号）：特開2014-161964
出願日： 2013年02月26日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削装置において、被加工物の大口径化による切削装置の大型化を防ぐとともに切削手段の調整及びメンテナンスを可能とし、生産性を向上させる。【解決手段】第一の切削手段51及び第二の切削手段52を有する第一の切削ユニット5と第三の切削手段61及び第四の切削手段62を有する第二の切削ユニット6とを門型の支持フレーム4の上面に配設されたY軸案内レール70に沿って移動可能とし、各切削手段を構成するスピンドルを、吊垂状態で門型の支持フレーム4の開口42において並列に配設することにより、装置が巨大化せず、剛性が向上するとともに、位置調整やメンテナンスがしやすくなり、このような作業に要する時間を短縮することができる。また、4つの切削手段を備えることで、切削加工の生産性を向上させることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X軸方向に延設されたX軸案内レールと、該X軸案内レールに沿って移動可能に配設され被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを該X軸案内レールに沿って切削送りする切削送り機構と、該X軸案内レールを跨いで配設され該チャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型の支持フレームと、 該門型の支持フレームの上面に該X軸案内レールと直交する方向に延設されたY軸案内レールと、該Y軸案内レールに沿って移動可能に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための第一の切削ユニットと第二の切削ユニットと、を具備する切削装置において、 該第一の切削ユニットは、第一の切削ブレードを備えた第一の切削手段及び第二の切削ブレードを備えた第二の切削手段が該Y軸案内レールに沿って移動可能に並列に配設されて構成され、 該第一の切削手段は、該Y軸案内レール上に移動可能に配設された第一の割り出し送り基台と、該第一の割り出し送り基台から該支持フレームの一方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第一の切り込み送り基台と、該第一の切り込み送り基台に装着され第一の切削ブレードを備えた第一のスピンドルと、を具備し、 該第二の切削手段は、該第一の割り出し送り基台と干渉しない位置で該Y軸案内レールに沿って移動可能に配設された第二の割り出し送り基台と、該第二の割り出し送り基台から該支持フレームの他方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第二の切り込み送り基台と、該第二の切り込み送り基台に装着され第二の切削ブレードを備えた第二のスピンドルと、を具備し、 該第一の割り出し送り基台と該第二の割り出し送り基台とは所定距離Y軸方向に相対的に移動するように所定間隔をあけて該Y軸案内レール上に配設され、 該第一のスピンドル及び該第二のスピンドルは吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口に並列に配設されており、 該第二の切削ユニットは、該Y軸案内レールに沿って移動可能に第三の切削ブレードを備えた第三の切削手段及び第四の切削ブレードを備えた第四の切削手段が並列に配設されて構成され、 該第三の切削手段は、該Y軸案内レール上に移動可能に配設された第三の割り出し送り基台と、該第三の割り出し送り基台から該支持フレームの一方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第三の切り込み送り基台と、該第三の切り込み送り基台に装着され第三の切削ブレードを備えた第三のスピンドルと、を具備し、 該第四の切削手段は、該第三の割り出し送り基台と干渉しない位置で該Y軸案内レールに沿って移動可能に配設された第四の割り出し送り基台と、該第四の割り出し送り基台から該支持フレームの他方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第四の切り込み送り基台と、該第四の切り込み送り基台に装着された第四の切削ブレードを備えた第四のスピンドルと、を具備し、 該第三の割り出し送り基台と該第四の割り出し送り基台とは所定距離Y軸方向に相対的に移動するように所定間隔をあけて該Y軸案内レール上に配設され、 該第三のスピンドル及び該第四のスピンドルは吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口に並列に配設されており、 該第一の切削ユニットと該第二の切削ユニットとは、該Y軸案内レールに沿って対向して配設されていること、を特徴とする切削装置。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

B24B27/06 M ,  H01L21/78 F

Fターム (12件)：

3C058AA03 ,  3C058AA14 ,  3C058AA18 ,  3C058CA05 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17 ,  3C158AA03 ,  3C158AA14 ,  3C158AA18 ,  3C158CA05 ,  3C158CB04 ,  3C158DA17