特許

J-GLOBAL ID：201403004707576473

情報記憶素子を有する材料貯蔵槽を管理するためのシステムおよび方法

発明者： エルフストロム,スコット ,  ハンソン,キャサリーン,エル. ,  ハウマーセン,スティーブン,イー. ,  ジョンソン,トーマス,ディー. ,  ノレット,クラーリ ,  スミートン,ウィリアム
出願人/特許権者： アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-145664
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225696
特許番号：特許第5597756号
出願日： 2013年07月11日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液体貯蔵槽内に貯蔵された液体を基板に供給する材料管理システムであって、 複数の液体貯蔵槽を収容する包囲体であって、前記複数の液体貯蔵槽の各々が、当該液体貯蔵槽内の前記液体に関する情報を記憶する2以上の情報記憶素子を有している、包囲体と、 前記液体貯蔵槽の液体内容物に関する液体貯蔵槽情報を前記情報記憶素子の少なくとも1つから読み取るように構成されたリーダと、前記包囲体内の液体貯蔵槽から必要とされる液体に関する情報を記憶するデータ記憶装置と、前記少なくとも1つの情報記憶素子から読み取られた情報、及び、前記包囲体内の液体貯蔵槽から必要とされる液体に関する情報を処理するように構成されたプロセッサと、を有する監視、制御及び通信のネットワークと、を備える材料管理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  G05B 19/418 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  G05B 19/418 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-034098   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 原材料管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-076708   出願人：凸版印刷株式会社