流量モニタ付圧力式流量制御装置と、これを用いた流体供給系の異常検出方法並びにモニタ流量異常時の処置方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉本丈夫 , 谷田龍一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012002394
公開番号（公開出願番号）：WO2012-153454
出願日： 2012年04月05日
公開日（公表日）： 2012年11月15日
要約：

流体の入口側通路(8)と、入口側通路(8)の下流側に接続した圧力式流量制御部(1a)を構成するコントロール弁(3)と、コントロール弁(3)の下流側に接続した熱式流量センサ(2)と、熱式流量センサ(2)の下流側に連通する流体通路(10)に介設したオリフィス(6)と、コントロール弁(3)とオリフィス(6)の間の流体通路(10)の近傍に設けた温度センサ(4)と、コントロール弁(3)とオリフィス(6)の間の流体通路(10)に設けた圧力センサ(5)と、オリフィス(6)に連通する出口側通路(9)と、圧力センサ(5)からの圧力信号及び温度センサ(4)からの温度信号が入力され、オリフィス(6)を流通する流体の流量値Qを演算すると共に演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向にコントロール弁(3)を開閉作動させる制御信号Pdを弁駆動部(3a)へ出力する圧力式流量演算制御部(7a)及び熱式流量センサ(2)からの流量信号(2c)が入力され当該流量信号(2c)からオリフィス(6)を流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部(7b)とからなる制御部(7)と、から構成した流量モニタ付圧力式流量制御装置。

請求項（抜粋）：

流体の入口側通路と,入口側通路の下流側に接続した圧力式流量制御部を構成するコントロール弁と,コントロール弁の下流側に接続した熱式流量センサと,熱式流量センサの下流側に連通する流体通路に介設したオリフィスと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路の近傍に設けた温度センサと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路に設けた圧力センサと,前記オリフィスに連通する出口側通路と,前記圧力センサからの圧力信号及び温度センサからの温度信号が入力され、オリフィスを流通する流体の流量値Qを演算すると共に演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向に前記コントロール弁を開閉作動させる制御信号Pdを弁駆動部へ出力する圧力式流量演算制御部及び前記熱式流量センサからの流量信号が入力され当該流量信号からオリフィスを流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部とからなる制御部と,から構成したことを特徴とする流量モニタ付圧力式流量制御装置。

IPC (1件)：

G05D 7/06

FI (1件)：

G05D7/06 Z

Fターム (8件)：

5H307AA20 , 5H307BB01 , 5H307CC07 , 5H307DD17 , 5H307EE01 , 5H307FF12 , 5H307FF15 , 5H307FF23

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