特許

J-GLOBAL ID：201403005527734190

テトラブロモシランからのトリブロモシランの製造方法

発明者： 友野 和哲 ,  岡村 優樹 ,  中山 雅晴
出願人/特許権者： 国立大学法人山口大学
代理人 (6件)： 廣田 雅紀 ,  小澤 誠次 ,  東海 裕作 ,  大▲高▼ とし子 ,  ▲高▼津 一也 ,  堀内 真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-142359
公開番号（公開出願番号）：特開2014-005175
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：

【課題】テトラブロモシランを高い転換率でトリブロモシランに転換することにあり、さらには、廃シリコン再生利用のクローズドサイクルの構築に資すること。【解決手段】廃シリコン処理物と臭化水素とを反応させてトリブロモシラン及びテトラブロモシランを含むブロモシランを製造する第1工程と、第1工程で得られたブロモシランからテトラブロモシランを分離し、該テトラブロモシランと水素とを反応させてトリブロモシランに転換する第2工程と、第2工程で得られたトリブロモシランからシリコンを製造する第3工程とを備えた方法であって、前記第2工程における反応を、炭化ケイ素又はダイヤモンドの存在下で行うシリコンからのシリコン回収方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素又はダイヤモンドの存在下で、テトラブロモシラン及び水素を反応させることを特徴とするトリブロモシランの製造方法。

IPC (3件)：

C01B 33/107 ,  C01B 33/03 ,  C01B 33/039

FI (3件)：

C01B33/107 Z ,  C01B33/03 ,  C01B33/039

Fターム (18件)：

4G072AA15 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH10 ,  4G072JJ01 ,  4G072JJ13 ,  4G072KK09 ,  4G072KK20 ,  4G072LL03 ,  4G072LL06 ,  4G072MM03 ,  4G072RR03 ,  4G072RR04 ,  4G072RR11 ,  4G072RR12 ,  4G072RR16 ,  4G072UU01 ,  4G072UU02