特許
J-GLOBAL ID：201403005565788504
検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 津田 理
, 鈴木 守
, 加藤 真司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-203375
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060001
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】 電子照射により光電子面が受けるダメージを低減することのできる検査装置を提供する。 【解決手段】 検査装置は、荷電粒子又は電磁波の何れかをビームとして発生させるビーム発生手段と、ワーキングチャンバ内に保持した検査対象にビームを導き照射する1次光学系と、検査対象から発生した二次荷電粒子を検出する2次光学系と、検出された二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系を備える。1次光学系は、光電子面を有する光電子発生装置を有し、光電子面の母材には、石英より熱伝導率の高い材料が用いられる。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
荷電粒子又は電磁波の何れかをビームとして発生させるビーム発生手段と、
ワーキングチャンバ内に保持した検査対象に、前記ビームを導き照射する1次光学系と、
前記検査対象から発生した二次荷電粒子を検出する2次光学系と、
検出された前記二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、
を備え、
前記1次光学系は、光電子面を有する光電子発生装置を有し、前記光電子面の母材には、石英より熱伝導率の高い材料が用いられることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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