特許

J-GLOBAL ID：201403005639378630

液浸部材、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体

発明者： 佐藤 真路
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-247410
公開番号（公開出願番号）：特開2014-096481
出願日： 2012年11月09日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
要約：

【課題】露光不良の発生を抑制できる液浸部材を提供する。【解決手段】液浸部材5は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材21と、第1部材の下方において露光光の光路Kの周囲の少なくとも一部に配置され、第1部材21の第1下面24と間隙を介して対向する第2上面25と物体が対向可能な第2下面26とを有し、第1部材21に対して可動な第2部材22と、第2上面25が面する第1空間SP1に結ばれるように第1部材21に形成される貫通孔と、第2部材22に接続され、貫通孔の内側で移動可能な支持部材28と、を備える。支持部材28の外面と貫通孔の内面との間の内部空間は、外面と内面との間隙が第1寸法の第1部分と、第1部分よりも上方に配置され、外面と内面との間隙が第1寸法よりも大きい第2寸法の第2部分と、を含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、 前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、 前記第1部材の下方において前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1部材の第1下面と間隙を介して対向する第2上面と前記物体が対向可能な第2下面とを有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、 前記第2上面が面する第1空間に結ばれるように前記第1部材に形成される貫通孔と、 前記第2部材に接続され、前記貫通孔の内側で移動可能な支持部材と、を備え、 前記支持部材の外面と前記貫通孔の内面との間の内部空間は、前記外面と前記内面との間隙が第1寸法の第1部分と、前記第1部分よりも上方に配置され、前記外面と前記内面との間隙が前記第1寸法よりも大きい第2寸法の第2部分と、を含む液浸部材。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F146BA11 ,  5F146CB31 ,  5F146DA33 ,  5F146DA34