特許
J-GLOBAL ID：201403008358954592
液晶用配向膜露光方法及びそのシステム並びにそれを用いて製作された液晶パネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012052874
公開番号（公開出願番号）：WO2012-132561
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：
液晶の高速応答を可能にする光配向膜の露光方法およびそのシステムを提供するものであって、液晶用配向膜露光装置と、基板回転手段とを備えた液晶用配向膜露光システムにおいて、液晶用配向膜露光装置を、ステージ手段と、第1の傾斜した方向から基板上の第1の所定の領域に第1の露光光を照射する第1の露光光照射手段と、第2の傾斜した方向から基板上の第2の所定の領域に第2の露光光を照射する第2の露光光照射手段と、ステージの位置を計測するステージ位置計測手段と、ステージ位置計測手段で計測して得たステージの位置情報に基づいて第1の露光光照射手段による第1の露光光の照射と第2の露光光照射手段による第2の露光光の照射とのオン・オフの切替を制御する制御手段とを備えて構成した。
請求項（抜粋）：
液晶用配向膜露光装置と、
該液晶用配向膜露光装置で露光する基板の向きを回転させる基板回転手段と、
を備えた液晶用配向膜露光システムであって、前記液晶用配向膜露光装置は、
基板を載置して平面内で移動可能なステージ手段と、
該ステージ手段に載置した基板に該基板の表面の法線方向に対して第1の傾斜した方向から前記基板上の第1の所定の領域に第1の露光光を照射する第1の露光光照射手段と、
前記ステージ手段に載置した基板に該基板の表面の法線方向に対して第2の傾斜した方向から前記基板上の第2の所定の領域に第2の露光光を照射する第2の露光光照射手段と、
前記ステージの位置を計測するステージ位置計測手段と、
該ステージ位置計測手段で計測して得た前記ステージの位置情報に基づいて、前記第1の露光光照射手段による第1の露光光の照射と前記第2の露光光照射手段による第2の露光光の照射とのオン・オフの切替を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする液晶用配向膜露光システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H290AA04
, 2H290BA53
, 2H290BF25
, 2H290BF92
, 2H290BF94
