特許

J-GLOBAL ID：201403008750549191

リニアモータ及びそれを備えた可動ステージ並びに電子顕微鏡

発明者： 長谷川 学 ,  李 燦 ,  辻 浩志
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024201
公開番号（公開出願番号）：特開2014-155360
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：

【課題】 リニアモータ移動に伴う磁場変動を小さくすること。【解決手段】 本発明のリニアモータは、上記課題を解決するために、S極とN極が交互となるよう直線状に並べられた永久磁石列及び該永久磁石列の外側に配置され、少なくとも1つの開放面を有するヨークから成る界磁子と、前記永久磁石列の間に配置され、前記ヨークの開放面を直線移動する可動子と、前記ヨークの一方の軸方向端部と他方の軸方向端部を磁気的に連絡する磁性体とを備えていることを特徴とする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

S極とN極が交互となるよう直線状に並べられた永久磁石列及び該永久磁石列の外側に配置され、少なくとも1つの開放面を有するヨークから成る界磁子と、前記永久磁石列の間に配置され、前記ヨークの開放面を直線移動する可動子と、前記ヨークの一方の軸方向端部と他方の軸方向端部を磁気的に連絡する磁性体とを備えていることを特徴とするリニアモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/03 ,  H02K 41/02 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

H02K41/03 A ,  H02K41/02 C ,  H02K41/02 A ,  H01J37/20 D

Fターム (13件)：

5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG06 ,  5H641GG20 ,  5H641HH02 ,  5H641HH05 ,  5H641HH06 ,  5H641JB01